SCR催化剂评价系统ODS5-PRO卤代温室气体分析系统ODS3卤代温室气体连续监测系统一氧化氮发生器气体采样器Huanaco 自动化实验设备无人机巡检激光刻标服务ZH700/800双频正火机ZH1500移动正火车CS500焊前除湿机Hongyan 铁路工业自动化装备与服务固定床高通量反应器系统釜式高通量反应器FCC下降管模拟流化床反应器SCR催化剂评价系统汽车尾气处理催化剂测试系统桌面型全自动反应器氢化反应系统自控与软件平台Amtech 全自动反应器/催化剂筛选系统Freeslate 高通量实验平台及LEA软件包Freeslate 生物制剂系统Freeslate 预制剂系统Freeslate 反应筛选系统Freeslate Jr. 生物制剂评价系统Freeslate Jr. 药剂筛选系统Freeslate Jr. 固体粉末分配系统Freeslate Jr. 反应优化系统Freeslate 高通量实验/药剂筛选系统活毒废水处理系统动物组织消解设备生物安全手套箱生物安全应急处置工具二氧化氯气体发生器实验室建设总包服务生物废水处理技术BioResponse 活毒废水处理/动物组织消解装备Tousimis临界点干燥仪Innovative溶剂纯化系统Innovative惰性气氛手套箱Lancer玻璃器皿清洗仪Heidolph旋转蒸发仪Heidolph大型旋转蒸发仪Heidolph磁力搅拌器Heidolph顶置式磁力搅拌器Bioforce 分子点样系统GC-MS技术服务实验室设备IVC 独立通气鼠笼盒DVC 鼠笼智能监控系统BHS 垫料处理系统IWT 笼盒笼架洗消系统水生动物养殖设备Tecniplast 实验动物与清洗设备A系列临界点干燥仪B系列临界点干燥仪C系列落地式临界点干燥仪新一代931临界点干燥仪样品室扩展配件Tousimis 临界点干燥仪KKS工业超声波清洗设备KKS医用精细表面处理技术KKS 超声清洗/医用表面处理技术安调售后服务生产商注册代理商注册工程师注册专业技术服务平台
联系我们
 工作时间
周一至周五 :9:00-17:00
 联系方式
电话:158-1090-4321
邮箱:info@huanaco.com
地址:北京市丰台区高立庄608号
Tousimis C系列落地式临界点干燥仪
产品详情



Tousimis Touchscreen Series C 系列是在原C系列落地式临界点干燥仪多年成功经验的基础上,结合Tousimis独立研发的触屏控制界面全新推出的新一代产品。Touchscreen C 系列干燥仪具有高可靠性、高重复性、操作简便的特点,采用广受好评的专业触屏软件全自动控制,是提高MEMS研发与生产效率的必备利器。


产品特点:


  • 专为MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)制备而设计的落地式全自动临界点干燥仪,无尘室适用

  • 最大可处理8"晶圆,每次最多可处理5个晶圆

  • 标配HF相容晶圆架和10mm方型晶圆架

  • 标配专用样品室内环,可适配不同直径的晶片样品,节省LCO2用量,缩短干燥时间,提高干燥效率

  • LCD触控屏

  • 可编程触屏控制界面,全自动控制

  • 多种默认处理程序,也可自定义程序并重复使用

  • 慢速充液功能,适用于各种易损样品

  • 专利“Stasis”程序用于处理较厚或较难干燥的样品

  • 高效内部冷却回路,快速降温,节省40%LCO2

  • 专利内置式SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO2,消除静电及吹扫噪音

  • 外置两级过滤系统,可过滤LCO2内0.08μm以上杂质

  • 外置吹扫过滤器,便于仪器维护

  • 专利非机械式吹扫搅拌技术,免维护

  • 内置压力控制模块,自动控制系统压力和保持压力稳定性

  • 精确参数控制,确保处理结果重复性

  • 样品室设有照明灯及观察窗,便于观察样品状态

  • 无尘室防静电兼容设计

  • 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准

938 large.jpg


C系列干燥仪参数对比:


全新触屏C系列:


型号

(点击下载PDF)

Automegasamdri®-93‍4

Series C

Automegasamdri®-936

Series C

Automegasamdri®-938

Series C

产品编号
8788A8788B8788C
样品室尺寸4.5"(内径)×1.25"(深)6.5"(内径)×1.25"(深)8.5"(内径)×1.25"(深)
样品室容积326 ml679 ml1162 ml
温时间<3 min<4 min<5 min
样品室内环4", 3", 2", 1.25"6", 4", 3", 2", 1.25"8", 6", 4", 3", 2", 1.25"
HF相容晶圆架4", 3", 2", 10mm6", 4", 3", 2", 10mm8", 6", 4", 3", 2", 10mm
温度压力范围- 30 ℃ ~ 60 ℃,0 ~ 2000 psi
设备尺寸50.3 cm (宽) × 80.6 cm (深) × 113.0 cm (高)



标配附件:

  • 柔性高压LCO2进液管线,3.0 m(无尘室)

  • 外置两级LCO2过滤装置(去油/水及0.5 μm以上颗粒物)

  • 用于吹扫、放空、排气及冷却放空的防静电管线

  • 备用样品室密封环(3),样品室灯泡(2),保险丝(2)

  • 样品室内环,内径8"(仅适用于8.5英寸型号), 6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2", 1.25",可适配不同直径晶圆

  • HF相容晶圆架[8"(仅适用于8.5英寸型号), 6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2"]及10mm方形样品架,每个支架最多可放置5片晶圆或样品

  • 安装工具

  • 用户说明书及数据表

  • 2年质保及终生免费技术支持