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Tousimis B系列临界点干燥仪
产品参数
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产品详情


产品特点:

  • 专为MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)制备而设计的台式全自动临界点干燥仪,防静电无尘室适用

  • 标配不同尺寸晶圆架,每次可处理5个晶圆样品

  • 标配样品室内环套装,适配不同的样品尺寸,减少LCO2消耗,提高干燥效率

  • 高效绝热冷却系统,可快速降温并在充液、吹扫时自动保温

  • 专利SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO2,消除静电及吹扫噪音

  • 内置压力控制模块,自动控制系统压力和保持压力稳定性

  • 外置0.5μm的LCO2过滤装置,去除水、油和颗粒物

  • 内置吹扫后过滤器,可过滤LCO2内0.4μm以上杂质

  • 每个操作模式均有LED显示,一目了然

  • 样品室设有照明灯及观察窗,便于观察样品状态

  • 带刻度的微型计量阀门控制LCO2流量

  • 微处理器控制,可全自动操作

  • 操作参数可重复设定,确保结果可重复性

  • 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准


B系列干燥仪参数对比:


型号

(点击下载PDF)

Autosamdri®-815

Series B

Autosamdri®-815B

Series B

Automegasamdri®-915B

Series B

产品编号
8779C8780C8785C
样品室尺寸1.25"(内径)×1.25"(深)4.5"(内径)×1.25"(深)6.5"(内径)×1.25"(深)
样品室容积25 ml326 ml679 ml
样品室内环-4", 3", 2", 1.25"6", 4", 3", 2", 1.25"
HF相容晶元架10mm4", 3", 2", 10mm6", 4", 3", 2", 10mm
设备尺寸35.6 x 26.0 x 54.6 cm36.2 x 29.8 x 63.5 cm36.2 x 29.8 x 63.5 cm
温度压力范围- 30 ℃ ~ 60 ℃,0 ~ 2000 psi



标配附件:

  • 柔性高压LCO2进液管线,3.0 m(无尘室)

  • 防静电排空管线

  • 外置SOTER冷凝器分离乙醇和CO2,消除静电及吹扫噪音

  • 样品室内环(仅适用于915B与815B)可适配不同直径晶圆

  • HF相容晶圆架仅适用于915B与815B)与10mm方晶架,每个支架最多可放置5片晶圆样品

  • 备用样品室密封环(3),样品室灯泡(2),保险丝(2)

  • 安装工具组

  • 用户说明书及数据表

  • 2年质保及终生免费技术支持